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J-GLOBAL ID：200903046545009965

三弗化窒素ガスの除害剤

Inventor： 原田 功 ,  在塚 眞 ,  菰原 定一 ,  橋本 隆
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993306342
Publication number (International publication number)：1995155540
Application date： Dec. 07, 1993
Publication date： Jun. 20, 1995
Summary：

【要約】【構成】 一種以上の固体金属弗化物と金属の混合物で、該金属の含有量が1〜99重量%である三弗化窒素ガスの除害剤。【効果】 三弗化窒素ガスの除害効率を飛躍的に向上させ、またカラムの閉塞の原因となるタブレットの粉化を防止することが可能。

Claim (excerpt)：

一種以上の固体金属弗化物と金属の混合物で、該金属の含有量が1〜99重量%であることを特徴とする三弗化窒素ガスの除害剤。

IPC (3)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/54

FI (3)：

B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 128