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J-GLOBAL ID:200903046550770380
導波形光デバイス
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993085819
Publication number (International publication number):1994300994
Application date: Apr. 13, 1993
Publication date: Oct. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 マイクロ波減衰を軽減した高速導波形光デバイスを提供する。【構成】 電気光学効果を有する結晶基板1と、導波路2,3,4と、誘電率が1.1〜40の誘電体よりなるバッファ層5と、少なくとも1対の電極6,7,8と、スリットまたは凹構造を有する、低誘電率の誘電体よりなる基板9とを備え、結晶基板と前記基板との間に、端部を除いて、エアギャップを有している。
Claim (excerpt):
電気光学効果を有する結晶基板と、この結晶基板内に作製された導波路と、前記結晶基板上に設けられた、誘電率が1.1〜40の誘電体よりなるバッファ層と、このバッファ層上に設けられた少なくとも1対の電極と、前記結晶基板の裏面に設けられ、スリットまたは凹構造を有する、低誘電率の誘電体よりなる基板とを備え、前記結晶基板と前記低誘電率の誘電体よりなる基板との間に、端部を除いて、エアギャップを有することを特徴とする導波形光デバイス。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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特開昭63-234219
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特開昭64-018121
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特開平3-257430
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特開平2-272505
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特開昭64-091111
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