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J-GLOBAL ID：200903046567333308

真空チャック装置からのワークの取り外し方法及びワークの取り外し装置

Inventor： 内田 孝二
Applicant, Patent owner： シーケーディ株式会社
Agent (1)： 恩田 博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994179081
Publication number (International publication number)：1996039377
Application date： Jul. 29, 1994
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 真空チャックの吸着板にワークを持ち上げるピンを挿通させるための孔を設けることなく、かつ、ワークの上面に触れることなく、ワークを吸着板上から移動させることができる真空チャック装置からのワークの取り外し方法を提供する。【構成】 ウェハWを吸着する真空チャックの吸着板24を、その表裏両面に連通する多数の透孔を有し、一方の面から空気を吸引することにより他方の面にウェハWを吸着する板材にて構成し、ウェハWの吸着終了時には、この吸着板24の一方の面から空気を吸着板24内に導入して他方の面から噴出させ、噴出する空気によりウェハWを他方の面から浮いた状態で支持し、ウェハWを支持した状態で吸着板24上から外れた位置に移動させた後、ウェハWをその下面から支持して保持する。

Claim (excerpt)：

表裏両面に連通する多数の透孔を有する吸着部(24)の一方の面から空気を吸引することにより他方の面にワーク(W)を吸着し、ワーク(W)の吸着終了時には、この吸着部(24)の一方の面から空気を導入して他方の面から噴出させ、噴出する空気によりワーク(W)を他方の面から浮いた状態で支持し、この浮いた状態のワーク(W)を吸着部(24)上から外れた位置に移動させる真空チャック装置からのワークの取り外し方法。

IPC (6)：

B23Q 3/08 ,  B05C 11/08 ,  B05C 13/02 ,  B05D 1/40 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-142653
  
• 特開昭63-139632
  
• 特開昭61-208841