Pat
J-GLOBAL ID：200903046585707312
DUVに使用可能な同焦点IRフォーカス形顕微鏡対物レンズ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
加藤 朝道 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000206798
Publication number (International publication number)：2001042224
Application date： Jul. 07, 2000
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】 本発明の課題は、少なくとも0.80の開口数および短い焦点距離を有しIRオートフォーカスに使用可能な極めて良好に修正されたDUV対物レンズを提供する。【解決手段】 上記課題は、a)DUVフォーカスが、DUV波長範囲λDUV±△λ(△λ=8nm)を含み、b)対物レンズが、λDUVにおけるDUVフォーカスと同一の焦点位置にIR波長λIR≧760nmについてIRフォーカスを有し、c)このため、該対物レンズの最後から2番目の要素(L12a,L12b,L12c)が、両凹に構成され、その物体側の外半径が、像側の外半径よりも明らかに小さくなるようDUV対物レンズを構成することにより解決される。
Claim (excerpt)：
石英ガラス及び蛍石からなるレンズ群を含み、DUV波長λDUV≧235nmにDUVフォーカスを有し且つ短い焦点距離を有する、DUVに適切な顕微鏡対物レンズにおいて、a)該DUVフォーカスが、DUV波長領域λDUV±△λ(△λ=8nm)を含み、b)該対物レンズが、λDUVにおけるDUVフォーカスと同一の焦点位置にIR波長λIR≧760nmについてIRフォーカスを有し、c)このため、該対物レンズの最後から2番目の要素(L12a,L12b,L12c)が、両凹に構成され、その物体側の外半径が、像側の外半径よりも明らかに小さいことを特徴とする対物レンズ。
IPC (4)：
G02B 21/02
, G02B 1/02
, G02B 13/24
, G02B 21/16
G02B 21/02 A
, G02B 1/02
, G02B 13/24
, G02B 21/16
