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J-GLOBAL ID:200903046585707312

DUVに使用可能な同焦点IRフォーカス形顕微鏡対物レンズ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 加藤 朝道 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000206798
Publication number (International publication number):2001042224
Application date: Jul. 07, 2000
Publication date: Feb. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 本発明の課題は、少なくとも0.80の開口数および短い焦点距離を有しIRオートフォーカスに使用可能な極めて良好に修正されたDUV対物レンズを提供する。【解決手段】 上記課題は、a)DUVフォーカスが、DUV波長範囲λDUV±△λ(△λ=8nm)を含み、b)対物レンズが、λDUVにおけるDUVフォーカスと同一の焦点位置にIR波長λIR≧760nmについてIRフォーカスを有し、c)このため、該対物レンズの最後から2番目の要素(L12a,L12b,L12c)が、両凹に構成され、その物体側の外半径が、像側の外半径よりも明らかに小さくなるようDUV対物レンズを構成することにより解決される。
Claim (excerpt):
石英ガラス及び蛍石からなるレンズ群を含み、DUV波長λDUV≧235nmにDUVフォーカスを有し且つ短い焦点距離を有する、DUVに適切な顕微鏡対物レンズにおいて、a)該DUVフォーカスが、DUV波長領域λDUV±△λ(△λ=8nm)を含み、b)該対物レンズが、λDUVにおけるDUVフォーカスと同一の焦点位置にIR波長λIR≧760nmについてIRフォーカスを有し、c)このため、該対物レンズの最後から2番目の要素(L12a,L12b,L12c)が、両凹に構成され、その物体側の外半径が、像側の外半径よりも明らかに小さいことを特徴とする対物レンズ。
IPC (4):
G02B 21/02 ,  G02B 1/02 ,  G02B 13/24 ,  G02B 21/16
FI (4):
G02B 21/02 A ,  G02B 1/02 ,  G02B 13/24 ,  G02B 21/16
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平3-274014
  • 特開平4-006510

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