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J-GLOBAL ID：200903046610760789

ステンシル露光マスク

Inventor： 黒川 隆司 ,  高田 一広
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994160253
Publication number (International publication number)：1996029965
Application date： Jul. 12, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】透明パターン領域に傷が付いたり、ごみが付着する問題を解消し、割れ易さを解消して、取り扱い易くすることにある。【構成】所定マスクパターン形状に切抜パターン部12を設けた金属薄板11の一面に、切抜パターン部12に沿ってスペーサ用テープ13が貼着され、前記金属薄板11のスペーサ用テープ13を貼着した面と相対する面に、該金属薄板11を支持する支持体14が取り付けられている。

Claim (excerpt)：

所定マスクパターン形状に切抜パターン部12を設けた金属薄板11の一面に切抜パターン部12に沿ってスペーサ用テープ13が貼着されていることを特徴とするステンシル露光マスク。

IPC (4)：

G03F 1/08 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 1/14