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J-GLOBAL ID：200903046635577032

落射型顕微鏡、プローブカードの検査装置、および、プローブカードの製造方法

Inventor： 山崎 英一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコンエンジニアリング ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000035181
Publication number (International publication number)：2001228404
Application date： Feb. 14, 2000
Publication date： Aug. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】円筒状の被検物体の外観を鮮明に観察することのできる落射型顕微鏡を提供する。【解決手段】被検物体102aを支持するステージ101と、対物レンズ112と、対物レンズ112に照明光を入射させる偏向部材111とを有する。ステージ101には、対物レンズ112から被検物体102aに向かって出射された照明光のうち被検物体102aに照射されなかった光の少なくとも一部を、対物レンズ112に向かって反射するための反射部材105が搭載されている。この反射部材105により、照明光が反射されることにより、落射照明でありながら、均一に明るい背景中に被検物体像を観察することができる。

Claim (excerpt)：

被検物体を支持するステージと、対物レンズと、前記対物レンズに照明光を入射させる偏向部材とを有し、前記ステージには、前記対物レンズから前記被検物体に向かって出射された前記照明光のうち前記被検物体に照射されなかった光の少なくとも一部を反射する反射部材が搭載されていることを特徴とする落射型顕微鏡。

IPC (5)：

G02B 21/10 ,  G01R 1/073 ,  G02B 21/24 ,  G02B 21/26 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G02B 21/10 ,  G01R 1/073 E ,  G02B 21/24 ,  G02B 21/26 ,  H01L 21/66 B

F-Term (24)：

2G011AA03 ,  2G011AA17 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC06 ,  2H052AC14 ,  2H052AC26 ,  2H052AC27 ,  2H052AD07 ,  2H052AD08 ,  2H052AD20 ,  2H052AD22 ,  2H052AD31 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD05 ,  4M106DD10 ,  4M106DH12 ,  4M106DH50 ,  4M106DJ39