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J-GLOBAL ID：200903046670560215

走査電子顕微鏡の試料位置制御装置

Inventor： 小室 浩之 ,  富澤 淳一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996133097
Publication number (International publication number)：1997320503
Application date： May. 28, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡の観察画面に、コンピュータ等により光学的画像と電顕画像を切換えて表示することを目的とする。【解決手段】走査電子顕微鏡の操作により光学的画像取込み装置9,電顕画像取込み装置6および試料ステージ12を制御して、目的の視野を簡易に探せるよう構成した走査電子顕微鏡の試料位置制御装置。

Claim (excerpt)：

走査電子顕微鏡において、光学的画像取込み装置を走査電子顕微鏡の試料ステージに組み込むことにより試料の画像を低倍率で記憶し、前記走査電子顕微鏡像の低倍率限界から光学的画像に倍率連動してコンピュータを用い自動的に画像の切換え表示をすることを特徴とする走査電子顕微鏡の試料位置制御装置。

IPC (2)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502

FI (2)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/22 502 L