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J-GLOBAL ID：200903046674313077

X線発生装置

Inventor： 近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992109872
Publication number (International publication number)：1993303999
Application date： Apr. 28, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：

【要約】【目的】 所望の強度(波長)を有するX線を長時間安定して供給する。【構成】 レーザ光3を導入するための窓4を有する真空容器1、容器1内に設置された標的2、前記窓と標的との間のレーザ光の光路上に設置されたレーザ光を透過可能な透明部材5、およびこの透明部材に対するレーザ光の透過位置が変わるように前記透明部材を移動させる移動手段6、7、8とでX線発生装置を構成した。

Claim (excerpt)：

レーザ光を導入するための窓を有する真空容器、該容器内に設置された標的、前記窓と標的との間の前記レーザ光の光路上に設置された該レーザ光を透過可能な透明部材、および該透明部材に対する前記レーザ光の透過位置が変わるように該透明部材を移動させる移動手段、とを有することを特徴とするX線発生装置。

IPC (2)：

H05G 2/00 ,  G21K 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-137543
  
• 特開昭58-116731
  
• 特開昭61-158656
  
• 特開昭58-109900