プローブカード及びそれに用いられる異方性導電シートの製造方法

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：明田莞
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000320757
Publication number (International publication number)：2002134570
Application date： Oct. 20, 2000
Publication date： May. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】半導体集積回路の微細化に対応することができる、プローブカード及びそれに用いられる異方性導電シートの製造方法を提供すること。【解決手段】測定対象物の電極パッド23aに接触させる複数個のプローブピン11と、前記各プローブピン11と接続される信号線パターンが形成された回路基板15と、回路基板15の下側に配され、回路基板15とは反対側の面に前記複数個のプローブピン11の各々に対して対向配置され且つ回路基板15に電気的に接続される各電極パッド16aが設けられたペーススプレッダー16と、シート状基材17b中に導電性極細線群17a’を配してなり、前記複数個のプローブピン11とペーススプレッダー16との間に配置されて各プローブピン11とペーススプレッダー16の各電極パッド16aとをそれぞれ電気的に接続する異方性導電シート17とを備えていることを特徴とするプローブカード。

Claim (excerpt)：

測定対象物の電気的諸特性を測定するためのプローブカードにおいて、測定対象物の電極パッドに接触させる複数個のプローブピンと、前記各プローブピンと接続される信号線パターンが形成された回路基板と、前記回路基板の下側に配され、該回路基板とは反対側の面に前記複数個のプローブピンの各々に対して対向配置され且つ前記回路基板に電気的に接続される各電極パッドが設けられたペーススプレッダーと、シート状基材中に導電性極細線群を配してなり、前記複数個のプローブピンと前記ペーススプレッダーとの間に配置されて各プローブピンと前記ペーススプレッダーの各電極パッドとをそれぞれ電気的に接続する異方性導電シートとを備えていることを特徴とするプローブカード。

IPC (4)：

H01L 21/66 , G01R 1/06 , G01R 1/073 , G01R 31/26

FI (4)：

H01L 21/66 B , G01R 1/06 A , G01R 1/073 E , G01R 31/26 J

F-Term (26)：

2G003AA07 , 2G003AA10 , 2G003AG03 , 2G003AG07 , 2G003AG08 , 2G003AH04 , 2G003AH05 , 2G011AA09 , 2G011AA16 , 2G011AA17 , 2G011AB06 , 2G011AB08 , 2G011AC14 , 2G011AD01 , 2G011AE03 , 2G011AF04 , 2G011AF07 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD04 , 4M106DD06 , 4M106DD09 , 4M106DD10 , 4M106DD15 , 4M106DD18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

垂直作動型プローブカード並びにそれに用いるプローブユニット及びプローブユニットの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-035655 Applicant：日本電子材料株式会社
異方導電性シートおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-094063 Applicant：ジェイエスアール株式会社
異方導電性シートおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-050151 Applicant：ジェイエスアール株式会社

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