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J-GLOBAL ID：200903046703648148

検査方法及び検査装置

Inventor： 吉田 幸司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000018182
Publication number (International publication number)：2001209797
Application date： Jan. 27, 2000
Publication date： Aug. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】 物体における周期的な繰り返しパターンの形成状態を精度良く検査する。【解決手段】 撮像装置によって物体を撮像して得られた3以上の階調の生画像を使用して、推定装置75が、生画像及び参照画像それぞれにおける同一位置の階調値の関係データを求め、関係データの生起確率に関する第1確率密度関数を推定するとともに、関係データの確率分布が第1確率密度関数に従うとした場合における、関係データの値それぞれにおける発生頻度の信頼区間を求める。引き続き、抽出装置76が、推定装置75の推定結果及び実発生頻度に基づいて、関係データの分布における発生頻度が前記第1確率密度関数に従っていない異常関係データであると推定される異常関係データ候補を抽出し、異常確率算出装置77が異常関係データ候補の異常確率を算出する。

Claim (excerpt)：

特定パターンが所定方向に沿って周期的に繰り返して形成された物体を検査する検査方法であって、前記物体を3以上の階調で撮像する撮像工程と;前記撮像工程で得られた撮像結果の生画像及び参照画像における同一位置の階調値の関係データの分布から前記関係データの生起確率に関する第1確率密度関数を推定する第1推定工程と;前記関係データの確率分布が前記第1確率密度関数に従うとした場合の、前記関係データの値それぞれにおける前記関係データの発生頻度に関する第2確率密度関数を推定し、前記関係データの値それぞれにおける基準発生頻度を推定する第2推定工程と;前記第2推定工程における推定結果及び前記関係データの値それぞれに関する前記関係データの分布における発生頻度に基づいて、前記関係データの分布における発生頻度が所定の信頼度で前記第1確率密度関数に従っていない異常関係データであると推定される異常関係データ候補を抽出する抽出工程と;前記異常関係データ候補が前記異常関係データである第1確率を算出する異常確率算出工程と;を含む検査方法。

IPC (4)：

G06T 7/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 23/225 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G01B 11/30 Z ,  G01N 23/225 ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 455 B

F-Term (69)：

2F065AA49 ,  2F065BB18 ,  2F065BB27 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF26 ,  2F065LL00 ,  2F065PP01 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065TT01 ,  2F065TT02 ,  2F065TT03 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001FA29 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001GA09 ,  2G001JA07 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA02 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001PA14 ,  2G001PA30 ,  2G001QA02 ,  2G001SA01 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB01 ,  4M106DB18 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ27 ,  5B057AA03 ,  5B057DA03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC33 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03 ,  5L096JA07 ,  9A001HH21 ,  9A001KK63 ,  9A001LL05