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J-GLOBAL ID：200903046704972674

ITO材、ITO膜及びその形成方法、並びにEL素子

Inventor： 村山 公正
Applicant, Patent owner： トヨタ自動車株式会社
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998301368
Publication number (International publication number)：2000128698
Application date： Oct. 22, 1998
Publication date： May. 09, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ITO膜の比抵抗及び面粗度を小さくすることと、EL素子を長寿命でかつ消費電力の小さいものとする。【解決手段】 ITO膜を、各結晶の結晶面が膜の厚さ方向に配向した内部層と、各結晶が膜の厚さ方向に配向した結晶面を持たず、かつ層の厚さが小さい表面層とで構成する。このITO膜では、内部層及び表面層のシート抵抗が小さいため、膜全体としてもシート抵抗が小さい。また、表面層の面粗度は小さいものとなる。このITO膜を使用したEL素子は、劣化しにくいため長寿命となる。また、電極層で消費される電力が小さいものとなる。

Claim (excerpt)：

In2O3の組成を有し、かつ立方晶構造を有するIn2O3結晶にSnが固溶されている多結晶からなるITO材において、各結晶の(400)面が一方向に配向していることを特徴とするITO材。

IPC (5)：

C30B 29/22 ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503 ,  H05B 33/28

FI (5)：

C30B 29/22 Z ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 B ,  H05B 33/28

F-Term (22)：

3K007AB06 ,  3K007AB11 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007FA01 ,  4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077BB10 ,  4G077DA02 ,  4G077EA02 ,  4G077EF01 ,  5G301CA02 ,  5G301CA23 ,  5G301CA30 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC02 ,  5G323BA01 ,  5G323BB05