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J-GLOBAL ID：200903046721239808
強誘電体薄膜形成用前駆体溶液およびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998105484
Publication number (International publication number)：1999286653
Application date： Mar. 31, 1998
Publication date： Oct. 19, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ゾル-ゲル法を用いて強誘電体薄膜を形成する場合に、多層塗布を行わずに1回だけの塗布操作により、特性を発揮させるのに必要な程度の膜厚の薄膜を形成することが可能である塗布液を調製できる前駆体溶液が得られる方法を提供する。【解決手段】 Tiアルコキシドの加水分解・重縮合によって環状構造もしくはラダー構造を有するTiアルコキシドオリゴマーを合成し、Zrアルコキシドの加水分解・重縮合によってZrアルコキシドオリゴマーを合成した後、Tiアルコキシドオリゴマーを予備加水分解させ、それをZrアルコキシドオリゴマーと反応させてTi-O-Zr前駆体を得て、Ti-O-Zr前駆体とPbアルコキシドとを反応させてPb(Ti-O-Zr)前駆体を得る。
Claim (excerpt)：
チタンアルコキシドの加水分解・重縮合によって得られるチタンアルコキシドオリゴマー、および、ジルコニウムアルコキシドの加水分解・重縮合によって得られるジルコニウムアルコキシドオリゴマー、ならびに、鉛アルコキシドを原料として得られ、ペロブスカイト系強誘電体薄膜を形成するための前駆体溶液において、前記チタンアルコキシドオリゴマーが環状構造もしくはラダー構造を有したものであることを特徴とする強誘電体薄膜形成用前駆体溶液。
IPC (5)：
C09D185/00
, H01B 3/00
, H01B 3/12 301
, C04B 35/49
, C08G 79/14
C09D185/00
, H01B 3/00 H
, H01B 3/12 301
, C08G 79/14
, C04B 35/49 A
