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J-GLOBAL ID：200903046727554365

マイクロポンプ

Inventor： ホーヴィッツ・シュテフェン ,  ヴェーゲナー・トーマス ,  ブリュガー・マーリオ ,  ゲーリング・トーマス
Applicant, Patent owner： ゲーシム・ゲゼルシャフト・フューア・ズィリーツィウム-ミクロズュステーメ・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング
Agent (1)： 江崎 光史 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998526087
Publication number (International publication number)：2001505640
Application date： Dec. 11, 1997
Publication date： Apr. 24, 2001
Summary：

【要約】本発明は、微小滴を発生させるためのマイクロポンプに関する。このマイクロポンプは、シリコンチップ内に形成された少なくとも1つのポンプ室と、このポンプ室上に配置された圧電操作可能なシリコンダイヤフラムとを備えている。ポンプ室は少なくとも1つの流入通路と、排出口を有する流出通路に接続されている。ガラスチップはシリコンダイヤフラムに向き合って少なくともポンプ室を閉鎖している。本発明の根底をなす課題は、1兆分の数リットルから百万分の数リットルまでの容積範囲において液体または懸濁液または液状物質を取り扱うことができ、かつ高い周波数安定性を有する、マイクロポンプを提供することである。本発明は、シリコンチップ(2)内にある流入通路(7)の少なくとも一部がポンプ室(4)の方に向かってディフューザ要素(11)として形成され、付加的にヒータが設けることができ、このヒータがヒータ接点(18,19)と関連して少なくともポンプ室(4)のシリコンダイヤフラム(5)に作用していることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

シリコンチップ内に形成された少なくとも1つのポンプ室と、このポンプ室 上に配置された圧電操作可能なシリコンダイヤフラムとを備え、ポンプ室が少 なくとも1つの流入通路と、排出口を有する流出通路に接続され、ガラスチッ プがシリコンダイヤフラムに向き合ってポンプ室を閉鎖している、微小滴を発 生させるためのマイクロポンプにおいて、シリコンチップ(2)内にある流入 通路(7)の少なくとも一部がポンプ室(4)の方に向かってディフューザ要 素(11)として形成され、流出通路(8)が出口平面(22)に開口してい ることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (2)：

F04B 43/04 ,  B81B 3/00

FI (2)：

F04B 43/04 B ,  B81B 3/00