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J-GLOBAL ID：200903046744465546

レーザビームスキャナ及びレーザ加工装置

Inventor：
堀越 聡

About 堀越 聡


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995263010
Publication number (International publication number)：1997103893
Application date： Oct. 11, 1995
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：
【要約】【課題】 ガルバノメータ型の利点を生かしつつ、レーザ光の位置精度をより向上させる。【解決手段】 レーザ光5の1次元の位置を検出する4つの位置検出センサ12が、X軸方向及びY軸方向にそれぞれ対向配置され、レーザ光5の位置補正時には、各位置検出センサ12にレーザ光5が走査される。各位置検出センサ12からの検出信号は、位置変換装置2で位置信号に変換され、制御装置1に送られる。制御装置1では、対向する2つの光検出センサ12ごとに、検出されたレーザ光5の位置の偏差と本来走査されるべきレーザ光5の位置の偏差との比から、補正量を算出し、補正量を実際の走査位置に加える。
Claim (excerpt)：
ガルバノメータを用いてレーザ光を偏向し所望位置に走査するレーザビームスキャナにおいて、前記ガルバノメータで偏向されたレーザ光の位置補正のために、前記レーザ光の走査範囲上の互いに直交する方向に対向して配置され、それぞれ入射したレーザ光の1次元の位置を検出する4つの光検出センサと、前記各光検出センサの対向する2つの光検出センサごとに、前記対向する2つの光検出センサで検出されたレーザ光の位置の偏差と本来走査されるべきレーザ光の位置の偏差との比から、補正量を算出し、前記補正量を実際の走査位置に加えることによりレーザ光の位置補正を行う制御手段とを有することを特徴とするレーザビームスキャナ。
IPC (4)：
B23K 26/04 ,  B23K 26/08 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104
FI (4)：
B23K 26/04 A ,  B23K 26/08 B ,  G02B 26/10 A ,  G02B 26/10 104
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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