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J-GLOBAL ID：200903046751594637

流量調整装置

Inventor： 三森 満幸
Applicant, Patent owner： 株式会社ニシヤマ
Agent (1)： 八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997174449
Publication number (International publication number)：1999019606
Application date： Jun. 30, 1997
Publication date： Jan. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構成で、かつ、低コストに、検査ラインにおける流量を比較的少流量に正確に設定でき、しかも、洗浄液体中に含まれる気泡を可及的に減少させて監視装置による洗浄液体の監視を正確に行う。【解決手段】 この流量調整装置20は、ワークWを洗浄する洗浄槽11から排出された洗浄液体Lを監視してワークの洗浄度合いを検知する検査ライン12に組み込まれる。流量調整装置は、洗浄槽内の洗浄液体を取り込んで下方位置に向けて導くと共に洗浄液体を監視する微粒子カウンタ21が途中に配置される管路22と、管路22に設けられるニードル弁23と、管路の下流側端部22bから流出する洗浄液体を溜めると共に内部を目視可能に構成されたシリンダ部24と、を有する。そして、シリンダ部に所定量の洗浄液体が溜まる時間に基づいてニードル弁を開閉調節し、微粒子カウンタに適した流量を設定する。

Claim (excerpt)：

ワーク(W)を洗浄する洗浄槽(11)から排出された洗浄液体(L)を監視して前記ワーク(W)の洗浄度合いを検知する検査ライン(12)に組み込まれる流量調整装置(20)であって、前記洗浄槽(11)内の前記洗浄液体(L)を取り込んで下方位置に向けて導くと共に前記洗浄液体(L)を監視する監視手段(21)が途中に配置される管路(22)と、前記管路(22)に設けられる流量調整弁(23)と、管路(22)の下流側端部(22b)から流出する前記洗浄液体(L)を溜めると共に内部を目視可能に構成されたシリンダ部(24)と、を有し、前記シリンダ部(24)に所定量の前記洗浄液体(L)が溜まる時間に基づいて前記流量調整弁(23)を開閉調節し、前記監視手段(21)に適した流量を設定するようにしたことを特徴とする流量調整装置。

IPC (4)：

B08B 3/04 ,  G05D 7/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H05K 3/26

FI (4)：

B08B 3/04 Z ,  G05D 7/00 ,  H01L 21/304 341 S ,  H05K 3/26 A