Pat

J-GLOBAL ID：200903046762930647

研磨終点検出方法、研磨方法及び研磨装置

Inventor： 三浦 潔 ,  長谷川 一人 ,  小原 基之
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 河野 登夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997270195
Publication number (International publication number)：1999104955
Application date： Oct. 02, 1997
Publication date： Apr. 20, 1999
Summary：

【要約】【課題】 研磨終点を正確に、しかも容易に検出することが可能な方法、これを用いた研磨方法及びその実施に使用する研磨装置を提供すること。【解決手段】 研磨パッド2へ供給された研磨液が、ウエハ1、研磨パッド2間の研磨作用面を満たし、流出する位置、例えば研磨パッド2と接触しない研磨台3の外周位置には、この位置における研磨液の温度を測定するための熱電対10aが設置されており、熱電対10a は温度測定装置10に接続されている。研磨定盤5を駆動する研磨定盤回転駆動装置7には、その回転トルクを計測するトルク計測装置8が接続されており、トルク計測装置8及び温度測定装置10は、終点判定装置9に接続されている。終点判定装置9の出力信号(研磨停止信号)は研磨定盤回転駆動装置7へ与えられるようになしてある。

Claim (excerpt)：

研磨液を供給しながら研磨材を摺接させて被研磨物を研磨する際の研磨終点を検出する方法において、予め所定研磨量を研磨した場合の研磨液の温度上昇値を求めておき、その後の研磨処理時に前記温度上昇値が得られた時点を研磨終点として検出することを特徴とする研磨終点検出方法。

IPC (4)：

B24B 37/04 ,  B24B 49/14 ,  B24B 49/16 ,  H01L 21/304 321

FI (4)：

B24B 37/04 D ,  B24B 49/14 ,  B24B 49/16 ,  H01L 21/304 321 M