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J-GLOBAL ID：200903046776309511

半導体ウエハ収納装置

Inventor： 藤崎 淳 ,  山田 義明
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 村上 博 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998166759
Publication number (International publication number)：2000003955
Application date： Jun. 15, 1998
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】 半導体ウエハ収納装置全体の作業効率を向上させる。【解決手段】 気体供給機17と半導体ウエハ保管装置本体2をつなぐダクト19に開閉アクチェエータ21によって開閉されるボリュームダンパ20を設け、ウエハキャリア搬送装置5からシャッター9に出力された開閉命令の信号に同期して開閉アクチェエータ21を開閉させる。

Claim (excerpt)：

クリーンルーム内に設置された半導体ウエハ保管装置本体と、ULPAフィルタ及びファンを備える給気チャンバと、上記半導体ウエハ保管装置本体内に設けられたウエハキャリアを収納するためのウエハキャリア収納棚と、上記ウエハキャリアを搬送するためのウエハキャリア搬送装置と、シャッター及び上記ウエハキャリアを受け渡すための載置ステージを備えたポートと、上記半導体ウエハ保管装置本体に気体を供給するための気体供給機とを備えた半導体ウエハ収納装置において、上記気体供給機と上記半導体ウエハ保管装置本体をつなぐダクトにボリュームダンパを設けると共に、このボリュームダンパの開閉を行なうための開閉アクチュエータを設けたことを特徴とする半導体ウエハ収納装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 521 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/02

FI (4)：

H01L 21/68 T ,  B65G 1/00 521 D ,  F24F 7/06 C ,  H01L 21/02 D

F-Term (24)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ09 ,  3F022MM11 ,  3F022MM35 ,  3F022PP06 ,  3F022QQ01 ,  3F022QQ07 ,  3L058BD02 ,  3L058BE02 ,  3L058BF03 ,  3L058BF08 ,  3L058BG01 ,  3L058BG03 ,  3L058BG04 ,  5F031BB01 ,  5F031BB05 ,  5F031BC10 ,  5F031LL01 ,  5F031LL03 ,  5F031LL05