Pat

J-GLOBAL ID：200903046839262219

2次元位相情報検出装置

Inventor： 曽根 明弘 ,  松本 修 ,  小林 祐二 ,  堀 輝成 ,  豊田 晴義 ,  原 勉
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992096511
Publication number (International publication number)：1993296850
Application date： Apr. 16, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 2次元的な光位相情報における位相変調を高速で検出すること。【構成】 変調装置24は、ヘテロダイン干渉計8〜14からの2次元信号をその時間的搬送周波数に対応するタイミングで強度変調する。この場合、ヘテロダイン干渉計が発生する2次元信号の強度変化の各点における時間的位相差は、ヘテロダイン干渉計に入力される光学的位相差(例えば、被測定面の凹凸等)に対応している。変調装置によって一様に強度変調された2次元信号の各点における強度波形は、この各点における時間的位相差に起因してその強度のピーク位置及びその値が変化する。よって、CCD32により上記の強度波形を積分して得られた2次元信号は、2次元的な位相情報の各点における光学的位相差を反映したものとなっているので、CCDで2次元並列に積算された2次元信号に基づいて位相情報の各点における光学的位相差を求めることができる。

Claim (excerpt)：

2次元的な位相情報を変換して所定の時間的搬送周波数にのった2次元信号光を発生する光ヘテロダイン干渉手段と、前記光ヘテロダイン干渉手段が発生する前記2次元信号を、前記所定の時間的搬送周波数に対応する所定のタイミング及び時間間隔で一様に強度変調する変調手段と、前記変調手段によって強度変調された前記2次元信号を、2次元並列に積算する積算手段と、を備える2次元位相情報検出装置。

IPC (2)：

G01J 9/04 ,  G01B 9/02