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J-GLOBAL ID：200903046852549217

マイクロレンズアレイ成形用金型の作製方法

Inventor： 飯島 竜太
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 高野 明近
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998082231
Publication number (International publication number)：1999277543
Application date： Mar. 27, 1998
Publication date： Oct. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】 精度の良いマイクロレンズアレイを安定して成形できる成形用金型を提供する。【解決手段】 成形用金型を形成しようとする金型基板3を用意し、まず、曲率半径が例えば100μmのルビー球を有する第1のポンチ1を用いてこの金型基板3に押し込み加工を行って、球状凹部4aを形成する(図1(A))。この加工を金型基板3のX方向に同ピッチで施して球状凹部4aをアレイ状に作製する。そして第1のポンチ1による押し込み加工により形成される基板隆起部5をCMP(化学的研磨)により研磨して取り除く(図1(B))。そして、曲率半径が例えば125μmのルビー球を有する第2のポンチ2を用いて、球状凹部4a上に押し込み加工を行ってレンズ型4bを作製し、マイクロレンズアレイの成形用金型を得る(図1(C))。

Claim (excerpt)：

複数のレンズが配列されてなるマイクロレンズアレイを成形するために用いる金型を金属基板を用いて作製するマイクロレンズアレイ成形用金型の作製方法であって、該金属基板に対し先端が球状のポンチを押し込むことにより該金属基板にレンズ型を形成するレンズ型形成工程を有するマイクロレンズアレイ成形用金型の作製方法において、前記レンズ型形成工程の前に、前記金型基板に凹部を形成する凹部形成工程を付加し、前記レンズ型形成工程は、該凹部形成工程で設けられた凹部に対し前記ポンチを押し込むようにすることを特徴とするマイクロレンズアレイ成形用金型の作製方法。

IPC (4)：

B29C 33/38 ,  B29C 45/26 ,  G02B 3/00 ,  B29L 11:00

FI (3)：

B29C 33/38 ,  B29C 45/26 ,  G02B 3/00 A