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J-GLOBAL ID:200903046858604538

蒸発槽へのMg供給方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小倉 亘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994330074
Publication number (International publication number):1996158043
Application date: Dec. 05, 1994
Publication date: Jun. 18, 1996
Summary:
【要約】【目的】 安全且つ安定した条件下で溶融Mgを真空槽内の蒸発槽に送り込み、Mg含有合金めっきに必要なMg蒸気を得る。【構成】 真空槽6の外部に設けたMg溶解槽2からシュノーケル5を経て真空槽6内のMg蒸発槽7にMgを供給する際、溶解槽2をシールする雰囲気を露点-60°C以上又は酸素濃度2.5ppm以上の不活性雰囲気とする。雰囲気としては、N2 単独,Ar又はH2 を配合したN2 混合ガス,Ar単独,He,SF6 等を配合したAr混合ガス等が使用される。溶解槽2は、減圧雰囲気に維持したシール室1内に配置しても良い。【効果】 溶融Mg4は、雰囲気中のO2 又はH2 Oと反応し、活性度の低いMgO膜で表面が覆われる。そのため、Mgの蒸発や窒化が抑制され、安定した条件下でMgが蒸発室7に供給される。
Claim (excerpt):
真空槽の外部に設けたMg溶解槽からシュノーケルを経て真空槽内のMg蒸発槽にMgを供給する際、溶解槽をシールする雰囲気を露点-60°C以上又は酸素濃度2.5ppm以上の不活性雰囲気とすることを特徴とする蒸発槽へのMg供給方法。

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