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J-GLOBAL ID：200903046912197625

高純度シリコン管の製造方法

Inventor： 小島 紀徳 ,  小松 善徳 ,  石井 正明 ,  高綱 和敏 ,  猿渡 康裕 ,  石川 延宏 ,  ▲廣▼田 大助
Applicant, Patent owner： 東燃化学株式会社 ,  東亞合成化学工業株式会社
Agent (1)： 池浦 敏明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992303014
Publication number (International publication number)：1994127917
Application date： Oct. 15, 1992
Publication date： May. 10, 1994
Summary：

【要約】【構成】 二重管の内管と外管との間隙に充填された高純度のシリコン粒子を外部から加熱し、水素珪素化物の熱分解によって生成したシリコンを前記間隙に導入して前記シリコン粒子を固着させ管状の固着物を形成させる。なお、二重管の材質には高純度のグラファイト、石英又はこれらの複合材が使用される。【効果】 短時間で充分な強度を有する肉厚の高純度シリコン管を得ることができる。

Claim (excerpt)：

二重管の内管と外管との間の環状間隙に充填された高純度のシリコン粒子層に、シラン化合物を流通させながら該シラン化合物を熱分解させて該シリコン粒子層内にバインダーとしてのシリコンを析出させ、シリコン粒子層を一体に固着させることを特徴とする高純度シリコン管の製造方法。

IPC (2)：

C01B 33/02 ,  B01J 8/06 301