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J-GLOBAL ID：200903046913402621

表面検査装置

Inventor： 合屋 義教 ,  相沢 健治 ,  田中 文雄
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993008028
Publication number (International publication number)：1994213819
Application date： Jan. 21, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、光ガイド部の光伝達特性を改善し、かつ光ガイドに対する入射光の位置等によらず感度を一定にし、さらに光学的歪を抑えることを目的とする。【構成】 被検査対象3からの反射光を受光する光ガイド7は屈折率が空気よりも大きい透明光学材料で形成し、光ガイド7の円柱面底部には入射光を当該光ガイド7内で拡散させる拡散反射面8を離散的に配置し、光ガイド7の前面には当該光ガイド7への入射光を拡散反射面8に集光する集光レンズ9を設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被検査対象の表面に光を走査し、その反射光を円柱状の光ガイドで受光して当該光ガイド内を伝搬させ、前記光ガイドの端部に設けた光電変換部で前記受光信号を電気信号に変換し、該電気信号に基づいて前記被検査対象の表面状態を検査する表面検査装置において、前記光ガイドは屈折率が空気よりも大きい透明光学材料で形成し、該光ガイドの円柱面底部には、入射光を当該光ガイド内で拡散させる拡散反射面を離散的に配置し、前記光ガイドの前面には、当該光ガイドへの入射光を前記拡散反射面に集光する集光レンズを設けてなることを特徴とする表面検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-184711
  
• 特開昭62-194977
  
• 特開平2-019749
  
• 特開平1-152345