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J-GLOBAL ID：200903046942730158

清浄室給排気処理システム

Inventor： 多以良 務
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 煤孫 耕郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993163359
Publication number (International publication number)：1994343823
Application date： Jun. 08, 1993
Publication date： Dec. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 活性炭有機排気処理装置の処理能力を低下させる排気ガス中の水分を除去し、活性炭有機排気処理装置の処理能力を向上させる。【構成】 清浄室におかれた有機成分を有する排気ガスを排出する有機系設備と、その排気ガスを活性炭有機排気処理装置により処理する清浄室給排気処理システムにおいて、循環空気調和機2の後段に設けられた除湿機構6と有機系設備10を囲む独立チャンバー5と、排気ダクト8と活性炭有機排気処理装置9により構成される。

Claim (excerpt)：

清浄室におかれた有機成分を有する排気ガスを排出する有機系設備と、その排気ガスを活性炭有機排気処理装置により処理する清浄室給排気処理システムにおいて、有機系設備を囲む独立チャンバーと独立チャンバーへ清浄空気を供給する送気系の途中に設けた除湿機構とを備えることを特徴とする清浄室給排気処理システム。

IPC (3)：

B01D 53/34 120 ,  F24F 1/00 371 ,  F24F 3/16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-104813
  
• 特開昭62-132523
  
• 特開平4-104813
  
• 特開昭62-132523