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J-GLOBAL ID：200903046961069012

バンプ電極形成方法

Inventor： 高橋 博英 ,  渕之上 謙二
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 鈴木 敏明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991249372
Publication number (International publication number)：1993090271
Application date： Sep. 27, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、信頼性の高いバンプ電極の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、バンプ電極を形成する方法においてハンダペースト115をスクリーン印刷法を用いて供給することにより、安定した高歩留りの球状化処理を行うことができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板上に複数の金属層を形成し、前記金属層上にハンダ層を形成するバンプ電極形成方法において、前記ハンダ層は、スクリーン印刷法により形成されることを特徴とするバンプ電極形成方法。