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J-GLOBAL ID：200903046961955306

処理液吐出装置およびその吐出ノズルと基板表面とのギャップ調整方法

Inventor： 井関 出 ,  竹本 仁一
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995334958
Publication number (International publication number)：1997173938
Application date： Dec. 22, 1995
Publication date： Jul. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】 基板と吐出ノズルとの現実のギャップを非接触で検出する。【解決手段】 吐出ノズル2の退避状態で、発光部4を発光させ、これが基板表面で反射されて受光部6に到達した位置、基準受光位置aを検出する。次に、吐出ノズル2を所定の吐出位置に復帰して、発光部4を発光させ、この光が基板10の表面で反射され、吐出ノズル2の先端で反射され、再び基板10の表面で反射されて受光部6に到達した位置、受光位置bを検出する。この基準受光位置aと受光位置bとの差Dおよび、発光部4からの光と基板表面とのなす角度θに基づき、D×sinθを演算し、吐出ノズルの先端と基板表面とのギャップgを求める。

Claim (excerpt)：

吐出ノズルの先端より基板の表面に処理液を吐出する処理液吐出装置であって、前記基板の表面に所定の入射角で入射する光を出射する発光手段と、前記発光手段から出射された光を受光する受光手段と、基板表面で反射されて前記受光手段に直接入射する光の基準受光位置と、前記基板表面で反射され、次に前記吐出ノズルの先端で反射され、再び前記基板表面で反射されて前記受光手段に入射する光の受光位置と、を検出し、前記基準受光位置と前記受光位置との差および前記発光部からの光と前記基板表面とのなす角度に基づいて、前記基板表面と前記吐出ノズルとのギャップを検出するギャップ検出手段と、を有することを特徴とする処理液吐出装置。

IPC (6)：

B05C 5/02 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/00 ,  B08B 3/02 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (6)：

B05C 5/02 ,  B05C 5/00 Z ,  B05C 11/00 ,  B08B 3/02 Z ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 C