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J-GLOBAL ID：200903046991760887

回折格子板の製造方法

Inventor： 佐藤 健志
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996063869
Publication number (International publication number)：1997230121
Application date： Feb. 27, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ブレーズ化におけるパターンくずれを回避し、格子ピッチの微細なパターンの形成可能なブレーズ回折格子板の製造方法を提供する。【解決手段】 マスク板11の第1のパターン11aを用いて露光エネルギーEaを、基板12上に形成したレジスト膜13上に与える。次いで第2のパターン11bを用いて露光エネルギーEbを与え、同様にして第3のパターン11cを用いて露光エネルギーEc,第4ののパターン11dを用いて露光エネルギーEdを与え、基板12上に形成されたレジスト膜13に深さ方向に多段階の反応領域を形成する。次いで、レジスト膜13を現像することにより、ブレーズ化されたレジストパターン13aを形成し、このレジストパターン13aを用いてエッチングを行い、このレジストパターン13aの形状を基板12に転写し、ブレーズ回折格子板14を得る。

Claim (excerpt)：

鋸歯状断面形状をもつ回折格子板の製造方法において、基板表面上にレジスト膜を塗布し該レジスト膜に鋸歯状格子パターンを形成する工程と、該鋸歯状格子パターン化されたレジストパターンの形状をエッチングにより基板に転写する工程とを備えていることを特徴とする回折格子板の製造方法。