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J-GLOBAL ID：200903046994002207

角速度センサ、加速度センサおよび製造方法

Inventor： 岡内 亨 ,  山下 光洋
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 松田 正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000002817
Publication number (International publication number)：2001194153
Application date： Jan. 11, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 段差エッチング工程の解消と駆動電圧の影響を解消する。【解決手段】 フレーム106と、フレーム106内に配置された、所定の駆動力によって振動する振動フレーム104と、振動フレーム104内に配置された、前記振動の方向と直交するコリオリ力により、該コリオリ力の方向に変位する、角速度を検出するための錘部101と、振動フレーム104と錘部101とを接続する複合梁102と、フレーム106と振動フレーム104とを接続する振動梁105とを備えたことを特徴とする角速度センサ。

Claim (excerpt)：

固定フレームと、前記固定フレーム内に配置された、所定の駆動力によって振動する振動フレームと、前記振動フレーム内に配置された、前記振動の方向と直交するコリオリ力により、該コリオリ力の方向に変位する、角速度を検出するための錘部と、前記振動フレームと前記錘部とを接続する、前記錘部に対し、前記コリオリ力に起因する変位を検出できる程度の弾性を有するとともに、前記駆動力に起因する振動の影響が及ぶのを防ぐ程度の剛性を有する第1の梁構造と、前記固定フレームと前記振動フレームとを接続する、前記振動フレームにたいし、これを効率よく振動させることができる程度の弾性を有するとともに、前記コリオリ力に起因する変位の影響が及ぶのを防ぐ程度の剛性を有する第2の梁構造とを備えたことを特徴とする角速度センサ。

IPC (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z

F-Term (19)：

2F105AA01 ,  2F105AA08 ,  2F105BB01 ,  2F105BB03 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA36 ,  4M112DA03 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA13