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J-GLOBAL ID：200903047037958354

薄膜機能部材

Inventor： 羽賀 浩一 ,  伊藤 彰浩 ,  三浦 博
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー ,  リコー応用電子研究所株式会社
Agent (1)： 小松 秀岳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991310650
Publication number (International publication number)：1993043399
Application date： Nov. 26, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 目的とする結晶性が良い酸化物単結晶薄膜を有する薄膜機能部材を提供すること。【構成】 絶縁性を有する基板1上に、SiやGeを含有する物質の単結晶薄膜2を形成し、その上に中間層3を設けた後、酸化物単結晶薄膜4を設けた薄膜機能部材であって、特に、中間層の結晶系が立方晶で、格子定数のずれがSiやGeを含有する上記単結晶薄膜の15%以下である薄膜機能部材。

Claim (excerpt)：

絶縁性を有する基板上にSi原子あるいはGe原子のうち少なくとも一種を有する単結晶薄膜層上に、結晶系が立方晶で格子定数のずれが単結晶薄膜の15%以下である中間層を少なくとも一層有し、この中間層上に酸化物単結晶薄膜を有することを特徴とする薄膜機能部材。

IPC (3)：

C30B 29/32 ,  C30B 29/30 ,  H01B 3/00