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J-GLOBAL ID：200903047051343974

画像処理方法およびその装置並びに荷電粒子顕微鏡検査装置

Inventor： 小原 健二 ,  高木 裕治 ,  中垣 亮
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000144625
Publication number (International publication number)：2001325595
Application date： May. 12, 2000
Publication date： Nov. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】不規則な輝度変化の含まれた二つの画像の差分画像から真の相違部分(真の欠陥部分)を誤抽出率をできるだけ低くして抽出処理を可能にした画像処理方法およびその装置並びに荷電粒子顕微鏡検査装置を提供する。【解決手段】本発明は、対象となる二つの画像の内、どちらか一方のみの画像を用いて不規則な輝度変化成分を抽出し、該成分の強度、発生割合を推定することにより、誤抽出の割合が指定割合以下となる2値化しきい値を算出する。

Claim (excerpt)：

二つの画像信号の内、いずれか一方の画像信号を基に、この画像信号に含まれる不規則な輝度変化による強度分布を作成する作成過程と、該作成過程で作成された不規則な輝度変化による強度分布を基に、不規則な輝度変化による誤抽出の発生する割合を、所望の割合以下とする2値化判定しきい値を設定する設定過程と、前記二つの画像信号について差分演算する差分演算過程と、該差分演算過程で差分演算された差分画像信号に対して、前記設定過程で設定された2値化判定しきい値を用いて前記二つの画像信号の相違部分を抽出処理する抽出処理過程とを有することを特徴とする画像処理方法。

IPC (4)：

G06T 7/00 300 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00 300 ,  H01J 37/22 502

FI (4)：

G06T 7/00 300 G ,  G06T 7/00 T ,  G06T 1/00 300 ,  H01J 37/22 502 H

F-Term (17)：

5B057AA03 ,  5B057BA01 ,  5B057BA24 ,  5B057CE06 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DC22 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096CA24 ,  5L096EA43 ,  5L096FA37 ,  5L096GA08 ,  5L096GA51 ,  5L096GA55 ,  5L096HA07