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J-GLOBAL ID：200903047055053199

ポジ型レジスト組成物

Inventor： 漢那 慎一 ,  水谷 一良 ,  佐々木 知也
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  栗宇 百合子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002249040
Publication number (International publication number)：2004086020
Application date： Aug. 28, 2002
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】160nm以下、具体的にはF2エキシマレーザー光(157nm)の光源使用時に十分な透過性を示し、且つアウトガス量の少ない優れたポジ型レジスト組成物を提供すること。【解決手段】(a)側鎖にフェニル基又はシクロヘキシル基を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解してアルカリ現像液への溶解性が増大する樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、及び(c)溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

(a)下記一般式(Z)で表される繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解してアルカリ現像液への溶解性が増大する樹脂、 (b)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、及び (c)溶剤 を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (4)：

G03F7/039 ,  C08F12/22 ,  C08F16/00 ,  H01L21/027

FI (4)：

G03F7/039 601 ,  C08F12/22 ,  C08F16/00 ,  H01L21/30 502R

F-Term (142)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  4J100AB01T ,  4J100AB02T ,  4J100AB03T ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AB07T ,  4J100AB08T ,  4J100AB09T ,  4J100AB10T ,  4J100AC22T ,  4J100AC25T ,  4J100AC26T ,  4J100AC37T ,  4J100AC53P ,  4J100AC53Q ,  4J100AC53T ,  4J100AD04P ,  4J100AE02T ,  4J100AE10T ,  4J100AE21P ,  4J100AE35P ,  4J100AE35T ,  4J100AE56T ,  4J100AG02T ,  4J100AG10T ,  4J100AG33T ,  4J100AJ01T ,  4J100AJ02S ,  4J100AJ03S ,  4J100AK32T ,  4J100AL02S ,  4J100AL02T ,  4J100AL03T ,  4J100AL04T ,  4J100AL08T ,  4J100AL09T ,  4J100AL10T ,  4J100AL11T ,  4J100AL14T ,  4J100AL16T ,  4J100AL24S ,  4J100AL26S ,  4J100AL44T ,  4J100AM01T ,  4J100AM03T ,  4J100AM07T ,  4J100AM15T ,  4J100AM17T ,  4J100AM19T ,  4J100AM21T ,  4J100AR04T ,  4J100AR11T ,  4J100AR32T ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA04T ,  4J100BA06Q ,  4J100BA12Q ,  4J100BA12R ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16T ,  4J100BA20P ,  4J100BA20T ,  4J100BA29T ,  4J100BA30T ,  4J100BA34T ,  4J100BA40Q ,  4J100BA40R ,  4J100BB01P ,  4J100BB01R ,  4J100BB01S ,  4J100BB01T ,  4J100BB03P ,  4J100BB03R ,  4J100BB03S ,  4J100BB03T ,  4J100BB05P ,  4J100BB05R ,  4J100BB05S ,  4J100BB05T ,  4J100BB07P ,  4J100BB07Q ,  4J100BB07R ,  4J100BB07S ,  4J100BB07T ,  4J100BB11P ,  4J100BB11Q ,  4J100BB11R ,  4J100BB11T ,  4J100BB17R ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18S ,  4J100BB18T ,  4J100BC01R ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC04T ,  4J100BC07T ,  4J100BC08T ,  4J100BC41Q ,  4J100BC41R ,  4J100BC41T ,  4J100BC43P ,  4J100BC43T ,  4J100BC49T ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53T ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38