回折素子の作製方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：泉名謙治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997262200
Publication number (International publication number)：1999125710
Application date： Sep. 26, 1997
Publication date： May. 11, 1999
Summary：

【要約】【課題】位相差板部を内蔵でき、軽量小型で、かつ、格子ストライプと入射偏光方向との角度に制約がなく、工業的生産が可能で高い光利用効率を有する回折素子を提供する。【解決手段】位相差を有する水晶製の透明基板20を使用し、その上に高分子液晶の複屈折性膜24を形成し、フォトリソグラフィ法とドライエッチング法により高分子液晶膜に周期的な格子ストライプ27を形成し、等方性材料28で充填した。

Claim (excerpt)：

透明基板上に形成された有機薄膜の表面または有機系材料からなる基板の表面に、感光性有機材料または無機材料からなる選択マスクを作製し、選択的にエッチングすることにより有機格子を形成することを特徴とする回折素子の作製方法。

IPC (4)：

G02B 5/18 , B29D 11/00 , G02B 1/04 , B29K105:32

FI (3)：

G02B 5/18 , B29D 11/00 , G02B 1/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭60-033504
光ヘッド装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-259961 Applicant：旭硝子株式会社
偏光分離素子とその偏光分離素子を用いた光ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-112617 Applicant：株式会社リコー

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