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J-GLOBAL ID：200903047088958839

電気特性計測方法および装置

Inventor： 岩崎 文晴 ,  村松 宏 ,  作原 寿彦 ,  木村 一彦
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991229159
Publication number (International publication number)：1993066189
Application date： Sep. 09, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 圧電素子を検出器として用いて、その共振周波数および共振抵抗値を測定することで、電圧印加時に状態変化を生じる化合物の、電気特性を計測することを可能にする。【構成】 検出器としての圧電素子上に試料を電圧が印加できるように固定し、これにパルス発生器およびインピーダンス測定器を接続した。試料に電圧を印可したときの、共振周波数および共振抵抗値をパルス発生器およびインピーダンス測定器により測定することで、試料の電圧印加時の状態変化を粘弾性変化として測定することができる。このことから、圧電素子を検出器として電圧により状態変化を生じる化合物の、電気特性を計測することができる。

Claim (excerpt)：

圧電素子の少なくとも一方の面を試料と接触させ、試料に電圧を印加したときの、圧電素子の共振周波数あるいは共振抵抗値を測定して試料の粘弾性変化を検出することにより、電圧印加時に状態変化を生じる試料の電気特性の計測を行うことを特徴とする電気特性計測方法。