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J-GLOBAL ID：200903047090496540
固体撮像素子とその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997283256
Publication number (International publication number)：1999121725
Application date： Oct. 16, 1997
Publication date： Apr. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 層間レンズに代わる集光機能を有し、これにより集光効率の向上を図った固体撮像装置とその製造方法の提供が望まれている。【解決手段】 基体2の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部3と、受光センサ部3から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部5と、基体2上に絶縁膜を介して設けられた転送電極8と、転送電極8を覆い、かつ受光センサ部3の直上位置の一部に開口部11を形成した状態で設けられた遮光膜10とを備えてなる。遮光膜10上を覆い、かつ開口部11に連通する孔部13をその内面が開口部11の内面に略面一となるようにして形成した状態で平坦化膜12が設けられている。孔部13および開口部11の内面上にはこの内面を覆って平坦化膜12より屈折率が大きい第1の透明膜14が設けられている。
Claim (excerpt)：
基体の表層部に設けられて光電変換をなす受光センサ部と、該受光センサ部から読み出された信号電荷を転送する電荷転送部と、前記基体上の、前記電荷転送部の略直上位置に絶縁膜を介して設けられた転送電極とを備えてなり、前記転送電極上を覆い、かつ前記受光センサ部の直上位置の一部に孔部を形成した状態で平坦化膜が設けられ、前記孔部の内面上に該内面を覆って前記平坦化膜より屈折率が大きい第1の透明膜が設けられ、さらにこの第1の透明膜の内面上に該内面覆って第1の透明膜より屈折率が小さい第2の透明膜が設けられてなることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
