Pat
J-GLOBAL ID：200903047108218217
走査型プローブ顕微鏡のカンチレバー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994293125
Publication number (International publication number)：1996146015
Application date： Nov. 28, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】探針が試料をトレースして上記試料の凹凸像と屈折率分布の測定を行うと同時に、カンチレバーを移動することなく、上記試料の光学観察を行うことができる簡便な製法にて作成可能な走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを提供する。【構成】走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーにおいて、上記カンチレバーの自由端部2を透明な素材にする。そして、この透明な自由端部2を通して試料観察を行う。
Claim (excerpt)：
走査型プローブ顕微鏡に用いられるカンチレバーにおいて、上記カンチレバーの自由端部を透明とし、この自由端部を通して試料観察を可能としたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡のカンチレバー。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
