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J-GLOBAL ID：200903047173422522
圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992139667
Publication number (International publication number)：1993312709
Application date： May. 06, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】 この発明は、ガス種の選択性にすぐれ、しかも感度の高い圧電素子を用いたガスセンサおよびこれを使用するガス濃度測定方法を提供することを目的とする。【構成】 この発明は、特定のガスに対して高い吸着特性を示すことのない非選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、特定のガスに対して高い吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子の各出力信号における発振周波数の差を計測する。
Claim (excerpt)：
特定のガスに対して他のガスよりも高い吸着特性を示す選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、ガスを非選択的に吸着する非選択的吸着性有機膜を担持した圧電素子と、これら両圧電素子に音響信号を与える音響制御手段と、上記両圧電素子の発振周波数の差を検出する周波数差検出手段を有する圧電素子を用いたガスセンサ。
Patent cited by the Patent：
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