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J-GLOBAL ID：200903047193661426
硬脆薄板の研磨方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
早川 政名
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992320895
Publication number (International publication number)：1994170728
Application date： Nov. 30, 1992
Publication date： Jun. 21, 1994
Summary：
【要約】【目的】砥粒に及ぼす外的条件や研磨速度との関係で研磨抵抗および砥粒の温度が大きな要素となっていることから、それらのデータに基づいて加工条件を制御することによって、生産性及び加工精度の高い研磨方法を提供することを目的とする。【構成】研磨機に研磨抵抗の検出器および砥粒の温度検出器を配設し、両検出器の検出データに基づいて砥粒供給量が決定され、研磨速度を制御しながら硬脆薄板を研磨すること。
Claim (excerpt)：
研磨機に研磨抵抗の検出器および砥粒の温度検出器を配設し、両検出器の検出データに基づいて砥粒供給量が決定され、研磨速度を制御しながら硬脆薄板を研磨することを特徴とする硬脆薄板の研磨方法。
IPC (5)：
B24B 37/04
, B24B 49/14
, B24B 49/16
, B24B 57/02
, H01L 21/304 321
