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J-GLOBAL ID:200903047194072181

分割光走査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中島 淳 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998360245
Publication number (International publication number):2000180755
Application date: Dec. 18, 1998
Publication date: Jun. 30, 2000
Summary:
【要約】【課題】 複数のレーザビームによって分割走査した場合でも、つなぎ目での光量の段差をなくすことができる分割光走査装置を提供する【解決手段】 分割光走査装置10は、レーザ光源部12A、12Bを備えており、それぞれ制御部14に接続されている。レーザ光源部12Aから射出されたレーザビーム16Aは、ポリゴンミラー18の反射面に入射され、ポリゴンミラー18により被走査面20の方向へ偏向され、被走査面20上をP0からP2まで走査する。レーザービーム16Bは、被走査面20上をP1からP3まで走査する。制御部14は、レーザビーム16Aの光量及びレーザビーム16Bの光量をオーバーラップ領域の境界であるP1及びP2の位置で測定し、オーバーラップ領域内でレーザビーム16Aの光量とレーザビーム16Bの光量とが一致するクロスポイントを算出し、この算出したクロスポイントを分割位置とする。
Claim (excerpt):
複数の光源と、前記複数の光源を駆動する光源駆動手段と、前記複数の光源から各々射出される複数本の光ビームに対応して被走査面上の走査領域を前記光ビームの主走査方向に沿って一部重複するように分割した部分走査領域を前記複数本の光ビームで各々走査する走査手段と、前記重複する領域内において、前記重複する領域を走査する2つの光ビームの光量が略一致する位置を分割位置として設定する設定手段と、前記設定手段により設定された分割位置で前記被走査面上を前記複数本の光ビームにより分割露光するように制御する制御手段と、を有する分割光走査装置。
IPC (2):
G02B 26/10 ,  B41J 2/44
FI (2):
G02B 26/10 B ,  B41J 3/00 D
F-Term (14):
2C362AA53 ,  2C362AA54 ,  2C362AA63 ,  2C362BA49 ,  2C362BA67 ,  2C362BA68 ,  2H045AA01 ,  2H045BA22 ,  2H045BA32 ,  2H045BA36 ,  2H045CA88 ,  2H045CA98 ,  2H045CB35 ,  2H045CB65
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 光学走査装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-014256   Applicant:富士ゼロックス株式会社

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