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J-GLOBAL ID：200903047216041617

極紫外放射線源のためのノズル

Inventor： ロイ・ディー・マクグレガー ,  ロバート・エイ・バンネル ,  マイケル・ビー・ペタッチ ,  ロッコ・エイ・オーシニ
Applicant, Patent owner： ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド
Agent (6)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  橋本 正男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003148892
Publication number (International publication number)：2004006365
Application date： May. 27, 2003
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：

【課題】EUV放射線源のためのノズルの形をした標的材料送給装置を提供する。【解決手段】ノズル(50)は液体標的材料(64)の小滴(76)を放出させるオリフィス(68)を有する標的材料供給ライン(66)を含み、小滴は所定の寸法、速度及び小滴間間隔を有する。小滴は標的材料室(66)を取り囲む混合室(54)内でキャリヤガス(74)と混合され、小滴とキャリヤガスとの混合物は混合室からドリフトチューブ(56)へ入る。小滴をドリフトチューブから加速室(124)内へ放出し、そこで、小滴の速度を小滴間間隔を制御するように増大してもよい。蒸気抽出器(90)を、EUV放射線発生に悪影響を及ぼすことのあるキャリヤガス及び標的材料蒸気を除去するために加速室又はドリフトチューブに装着することができる。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

極紫外放射線源のためのノズルにおいて、 オリフィスを有し、上記オリフィスから標的材料の小滴のストリームを放出する標的材料室と; 上記オリフィスと整合し、小滴のストリームを受け取るドリフト室であって、小滴が上記ドリフト室を通って伝播するときに小滴の凍結を許容するように所定の長さを有し、上記標的材料室とは反対側に位置しかつそこを通して小滴を当該ドリフト室から排出させるドリフト室開口を備えたドリフト室と; を有することを特徴とするノズル。

IPC (3)：

H05G2/00 ,  G21K5/00 ,  G21K5/08

FI (3)：

H05G1/00 K ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/08 X

F-Term (4)：

4C092AA06 ,  4C092AA07 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09