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J-GLOBAL ID：200903047221053011
処理方法および装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992240353
Publication number (International publication number)：1994089890
Application date： Sep. 09, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：
【要約】【目的】 排液および排気する際の大気等の逆流による密閉処理槽内の汚染や雰囲気の変化を確実に防止することが可能な処理技術を提供する。【構成】 処理流体供給配管11から供給される薬液、純水、ガスなどの処理流体によって内部の被処理物に所望の処理を行う処理槽1に接続される排出配管12の経路にバッファ槽2を介設し、このバッファ槽2には、不活性ガスを供給する不活性ガス供給配管13、およびバッファ槽2の減圧操作を行うバキュームジェネレータ3を接続した。バキュームジェネレータ3は、動作流体供給配管16から噴射供給される不活性ガス流を動作流体とするアスピレータの原理で負圧を発生する。処理槽1における処理完了後の廃液の排出は、バッファ槽2を負圧にすることによって強制的に行う。
Claim (excerpt)：
密閉処理槽内で被処理物に所望の処理流体を供給することにより所望の処理を行なう処理方法であって、前記処理を行った後、前記密閉処理槽において発生した廃液の排出および排気を、前記密閉処理槽に接続された排出配管経路を減圧状態にすることによって強制的に行うことを特徴とする処理方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/04
