リブ形成用絶縁性ペースト組成物及びそれを用いたリブパターンの形成方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：服部平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999071265
Publication number (International publication number)：2000268633
Application date： Mar. 17, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】断面形状に優れ、寸法精度の高い微細なリブパターンを形成できるリブ加工用反射防止膜形成溶液溶剤、反射防止膜を有するリブ形成用絶縁性ペースト組成物およびリブパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】絶縁性材料、有機バインダー、吸光性物質及び有機溶剤を含有することを特徴とするリブ形成用絶縁性ペースト組成物およびリブパターンの形成方法。

Claim (excerpt)：

絶縁性材料、有機バインダー、吸光性物質及び有機溶剤を含有することを特徴とするリブ形成用絶縁性ペースト組成物。

IPC (7)：

H01B 3/10 , C08K 3/00 , C08K 5/00 , C08L101/00 , G03F 7/40 521 , H01B 19/00 , H01L 21/304 601

FI (7)：

H01B 3/10 , C08K 3/00 , C08K 5/00 , C08L101/00 , G03F 7/40 521 , H01B 19/00 , H01L 21/304 601 S

F-Term (57)：

2H096AA30 , 2H096CA05 , 2H096HA30 , 4J002AB021 , 4J002AC011 , 4J002BB031 , 4J002BB121 , 4J002BC031 , 4J002BD031 , 4J002BE021 , 4J002BE061 , 4J002BF021 , 4J002BG041 , 4J002BG061 , 4J002BG101 , 4J002BJ001 , 4J002CF001 , 4J002CG001 , 4J002CK021 , 4J002DE076 , 4J002DE096 , 4J002DE106 , 4J002DE146 , 4J002DE156 , 4J002DJ016 , 4J002EA067 , 4J002EE037 , 4J002EE057 , 4J002EN097 , 4J002EQ017 , 4J002ET007 , 4J002EU177 , 4J002FD028 , 4J002FD097 , 4J002GP03 , 4J002GQ00 , 4J002HA05 , 5G303AA10 , 5G303AB20 , 5G303BA07 , 5G303CA03 , 5G303CA09 , 5G303CB01 , 5G303CB02 , 5G303CB17 , 5G303CB25 , 5G303CB30 , 5G303CB31 , 5G303CB38 , 5G303CD01 , 5G303CD04 , 5G333AB18 , 5G333CB19 , 5G333CC18 , 5G333DA01 , 5G333DA03 , 5G333DA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

感光性絶縁ガラスペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-264529 Applicant：東レ株式会社
感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層フィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-303921 Applicant：東京応化工業株式会社
プラズマディスプレイ基板の厚膜パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-124830 Applicant：大日本印刷株式会社

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