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J-GLOBAL ID：200903047255465661
検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
落合 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992307603
Publication number (International publication number)：1994129844
Application date： Oct. 21, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：
【要約】【目的】 コントラストの高い、鮮明な明暗パターンを得ることができる検査装置を提供する。【構成】 試料に平行光を照射し、その反射光または透過光を収束し、後側焦点の後方で前記試料面の観測を行うように構成されるとともに、前記後側焦点またはその近傍に遮蔽体を設けて観測面に向かう反射光の一部を遮断するようにした光学系を備え、前記平行光よりは大きい入射角で前記試料に対して光を照射する光照射手段を設けた。
Claim (excerpt)：
試料に平行光を照射し、その反射光または透過光を収束し、後側焦点の後方で前記試料面の観測を行うように構成されるとともに、前記後側焦点またはその近傍に遮蔽体を設けて観測面に向かう反射光の一部を遮断するようにした光学系を備え、前記平行光よりは大きい入射角で前記試料に対して光を照射する光照射手段を設けたことを特徴とする検査装置。
IPC (2)：
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