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J-GLOBAL ID：200903047309348313

透明導電性フィルムおよびその製造法

Inventor： 宮崎 龍法 ,  斎木 幸治 ,  林 明峰 ,  松本 賢次
Applicant, Patent owner： 鐘淵化学工業株式会社
Agent (1)： 伊丹 健次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992312926
Publication number (International publication number)：1994136159
Application date： Oct. 27, 1992
Publication date： May. 17, 1994
Summary：

【要約】【構成】 透明フィルム基板(A)上に、珪素酸化物を主体とする金属酸化物または珪素窒化物を主体とする金属窒化物の透明バリヤー性薄膜(B)を形成し、さらにその上にインジウム酸化物を主体とする金属酸化物の透明導電性薄膜(C)を形成したことを特徴とする透明導電性フィルム。【効果】 優れたガスバリヤー性及び水蒸気バリヤー性を有するとともに、耐アルカリ性にも優れている。

Claim (excerpt)：

透明フィルム基板(A)上に、珪素酸化物を主体とする金属酸化物または珪素窒化物を主体とする金属窒化物の透明バリヤー性薄膜(B)を形成し、さらにその上にインジウム酸化物を主体とする金属酸化物の透明導電性薄膜(C)を形成したことを特徴とする透明導電性フィルム。

IPC (3)：

C08J 7/04 ,  B32B 9/04 ,  H01B 5/14