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J-GLOBAL ID：200903047313538933

高速原子線を用いた加工方法

Inventor： 畠山 雅規
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 熊谷 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994156811
Publication number (International publication number)：1995068389
Application date： Jun. 14, 1994
Publication date： Mar. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 様々なパタ-ンの加工を効率的に行うことができる高速原子線を用いた加工方法を提供すること。【構成】 加工基板1の表面を該表面に密着させ又は該表面から所定距離離してパターン穴を形成した遮蔽体5で覆い、該遮蔽体5に大きな運動エネルギーで飛翔する原子又は分子からなる高速原子線7を照射し、該遮蔽体5のパターン穴5aを通って加工基板1の表面に照射される高速原子線7より、該加工基板1を加工する。

Claim (excerpt)：

被加工体の表面を該表面に密着させ又は該表面から所定距離離してパターン穴を形成した遮蔽体で覆い、前記遮蔽体に大きな運動エネルギーで飛翔する原子又は分子からなる高速原子線を照射し、該遮蔽体のパターン穴を通って被加工体の表面に照射される高速原子線により、該被加工体を加工することを特徴とする高速原子線を用いた加工方法。

IPC (4)：

B23K 17/00 ,  B23K 15/00 ,  B23K 15/00 508 ,  B23K 26/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開昭62-130287
  
• 特公昭60-031908
  
• プラズマ処理装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-141859   Applicant：川崎製鉄株式会社

Cited by examiner (1)

• 特開昭62-130287