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J-GLOBAL ID：200903047341299561

クリーンルームの清浄度測定装置

Inventor： 板橋 和男
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 森 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992111832
Publication number (International publication number)：1993306988
Application date： Apr. 30, 1992
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】作業者の影響を除去でき、且つ、製品がさらされる雰囲気の清浄度を測定できるようにする。【構成】クリーンルーム内で稼働するウエハ自動搬送台車1にパーティクル測定装置6を搭載し、そして、その吸引チューブ7の吸引口7aを、ウエハ格納カセット5の真下(風下)に位置させる。【効果】ウエハ格納カセット5がさらされた空気がパーティクル測定装置6内に吸引されるため、製品としてのウエハがさらされた雰囲気の清浄度を測定することができる。

Claim (excerpt)：

クリーンルーム内の空気を吸引し、その吸引した空気に含まれる微粒子の量を測定して前記クリーンルームの清浄度を測定する装置であって、空気の吸引口を、前記クリーンルーム内で稼働する自動走行車に取り付けたことを特徴とするクリーンルームの清浄度測定装置。

IPC (2)：

G01N 15/06 ,  G01D 21/00