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J-GLOBAL ID：200903047359676370
気流搬送装置およびその制御方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994020561
Publication number (International publication number)：1995228342
Application date： Feb. 17, 1994
Publication date： Aug. 29, 1995
Summary：
【要約】【目的】 半導体ウェハなどの板状物の搬送に使用する気体の量を最少にする気流搬送装置およびその制御方法を提供する。【構成】 気流搬送装置の本体である気流搬送装置本体部1と、窒素ガスなどの気体を噴流するノズル2と、ウェハ3などの板状物が搬送される搬送路であるノズル板4と、ノズル2へ供給する前記窒素ガスの量を調節するバルブ5a,5b,5c,5dと、前記バルブ5a,5b,5c,5dへ前記窒素ガスを供給するガス供給用配管6と、ウェハ3の位置や移動速度を検知する板状物検出手段であるセンサ7a,7bとから構成され、バルブ5a,5b,5c,5dがそれぞれノズル2と1対1の対応で設けられ、バルブ5a,5b,5c,5dの開閉およびノズル2に供給する気体の量の調節が、ノズル2の個別ごとに行われるものである。
Claim (excerpt)：
気体の流体力によって半導体ウェハなどの板状物を浮上させ、前記板状物を非接触状態で搬送する気流搬送装置であって、前記気体を噴流するノズルと、前記板状物の通路であり、前記ノズルが設置される搬送路と、前記ノズルへ供給する気体の量を調節するバルブと、前記板状物の位置や移動速度を検知する板状物検出手段とからなり、前記ノズルが前記搬送路に対して垂直方向または斜め方向に設置され、前記バルブが前記ノズルと1対1の対応で設けられていることを特徴とする気流搬送装置。
IPC (3)：
B65G 51/03
, B65G 49/07
, H01L 21/68
