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J-GLOBAL ID：200903047366691563
X線応力測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡田 英彦 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997214769
Publication number (International publication number)：1999051786
Application date： Aug. 08, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 X線応力測定方法において、被測定物の深さ方向の応力分布の分解能を向上させること。【解決手段】 X線15を被測定物3に照射して、該被測定物3により回折したX線16を検出することにより、該被測定物3の結晶格子歪みを検出することにより該被測定物3の応力を推定するX線応力測定において、逐次前記回折角θを変化させて、複数の前記回折角θにおける前記被測定物3の結晶格子歪みを検出し、該被測定物3の結晶格子歪みに対応した該被測定物3の応力を推定することを特徴とするX線応力測定方法。
Claim (excerpt)：
X線を被測定物に照射して、該被測定物により回折したX線を検出することにより、該被測定物の結晶格子歪みを検出することにより該被測定物の応力を推定するX線応力測定において、逐次前記回折角を変化させて、複数の前記回折角における前記被測定物の結晶格子歪みを検出し、該被測定物の結晶格子歪みに対応した該被測定物の応力を推定することを特徴とするX線応力測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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