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J-GLOBAL ID：200903047367243882

マスク搬送装置及び露光装置

Inventor： 太田 稔也
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996175841
Publication number (International publication number)：1998004058
Application date： Jun. 13, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明はマスク搬送装置及び露光装置に関し、マスクを鉛直に立てた状態にて確実に保持して搬送する。【解決手段】鉛直方向にスライド自在でありかつ、マスク(2)の端部に鉛直下方より当接する第1のマスク支持部材(22)及び、水平方向にスライド自在でありかつ、マスク(2)の両側の端部に水平方向より当接する第2のマスク支持部材(22)を有するマスク搬送手段(15)と、予圧発生部(34A、34B)及び吸着部(29)を有する露光面の垂直方向にスライド自在に設けられた移戴手段(25)とを備えたことにより、ほぼ鉛直に立てられた状態のマスク(2)を下端及び両側の端部にて第1のマスク支持部材(22)及び第2のマスク支持部材(22)によつて確実に保持しながら搬送し得るとともに、移戴手段(25)によつてマスク(2)を高精度で露光位置に装着させる。

Claim (excerpt)：

マスク及び感光基板各々の露光面をほぼ鉛直に立てた状態でマスク保管位置から露光位置へ前記マスクを搬送するマスク搬送装置において、鉛直方向にスライド自在でありかつ、前記マスクの端部に鉛直下方より当接する第1のマスク支持部材及び、水平方向にスライド自在でありかつ、前記マスクの両側の端部に水平方向より当接する第2のマスク支持部材を有するマスク搬送手段と、予圧発生部及び吸着部を有する前記露光面の垂直方向にスライド自在に設けられた移戴手段と、前記マスク搬送手段を露光位置とマスク保管位置との間で移動させる駆動手段とを備えることを特徴とするマスク搬送装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  B65G 49/07 ,  G03F 7/20 521

FI (5)：

H01L 21/30 502 J ,  B65G 49/07 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 E ,  H01L 21/30 514 D