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J-GLOBAL ID：200903047375251673

縦型超格子の形成方法

Inventor： 張 随安 ,  青柳 克信
Applicant, Patent owner： 理化学研究所
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992168864
Publication number (International publication number)：1994013317
Application date： Jun. 26, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ヘテロ界面に揺らぎ等のない良好な形状の縦型超格子を形成することのできる縦型超格子の形成方法を提供する。【構成】 真空チャンバ10内には、ヒータ11を備えた基板保持用ホルダ12が配設されている。また、この基板保持用ホルダ12に向けて、複数のガス供給ノズル13が設けられており、基板保持用ホルダ12は、ガス供給ノズル13に対する基板1の角度αが、5乃至45度となるように基板1を保持するよう構成されている。ガス供給ノズル13が配設されたガス供給配管14には、それぞれ0.1ミリ秒程度のタイミングで高速開閉動作可能な高速バルブ15が介挿されている。高速バルブ15の開閉動作を繰り返して行うことにより、ガスをパルス状にして供給する。

Claim (excerpt)：

結晶の特異面から数度傾いた段差基板面を有する基板を真空チャンバ内に配設して加熱するとともに、前記基板に対向する如く、少なくとも第1のガスを供給する第1のガス供給機構の供給口と、第2のガスを供給する第2のガス供給機構の供給口を配設し、これらの供給口から交互に第1および第2のガスを複数回供給して前記基板面に縦型超格子を形成するにあたり、前記基板を、前記供給口に対して正体した状態から傾けて配設するとともに、前記第1および第2のガス供給機構に高速開閉可能なバルブ機構を設け、1回の前記第1および第2のガス供給を、前記バルブ機構の開閉を複数回繰り返すことによってパルス状に行うことを特徴とする縦型超格子の形成方法。