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J-GLOBAL ID：200903047401827520

除振装置および半導体製造装置

Inventor： 加藤 宏昭
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999193651
Publication number (International publication number)：2001020996
Application date： Jul. 07, 1999
Publication date： Jan. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】 除振台の変位を制御したことに起因する設置床から除振台への振動伝達を好適に防止できる除振装置およびこれを用いた半導体製造装置を提供する。【解決手段】 除振される除振台2と、装置の設置床7と除振台との相対変位を検出する変位センサ4と、この変位センサの出力をフィードバックして除振台の変位を制御する制御手段1、3、8、10、13とを備え、設置床の変位に基づいて変位センサの出力を補正する補正手段6、11を具備することを特徴とする除振装置。

Claim (excerpt)：

除振される除振台と、装置の設置床と前記除振台との相対変位を検出する変位センサと、この変位センサの出力をフィードバックして前記除振台の変位を制御する制御手段とを備え、前記設置床の変位に基づいて前記変位センサの出力を補正する補正手段を具備することを特徴とする除振装置。

F-Term (7)：

3J048AB08 ,  3J048AB09 ,  3J048AB11 ,  3J048AD02 ,  3J048BE02 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13