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J-GLOBAL ID：200903047403615805

圧力分布測定用ウェーハ

Inventor： 一 啓文
Applicant, Patent owner： 株式会社スーパーシリコン研究所
Agent (1)： 小倉 亘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997122087
Publication number (International publication number)：1998311764
Application date： May. 13, 1997
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 加工中のウェーハ内圧力分布を測定できるウェーハを提供する。【解決手段】 この圧力分布検出用ウェーハは、複数の圧力検出部3を2枚のウェーハ1,2の間に挟み込んでいる。圧力検出部としては、X-Yマトリックス上で複数の測定領域に区分されている感圧シートが使用される。【効果】 測定された圧力分布に応じて定盤形状が修正されるため、均一な加工をウェーハに施すことが可能となる。

Claim (excerpt)：

X-Yマトリックス上で複数の圧力測定領域に区分されている感圧シートと、該感圧シートを間に挟んで貼り合わされた2枚のウェーハからなる圧力分布測定用ウェーハ。

IPC (3)：

G01L 5/00 101 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01L 5/00 101 Z ,  H01L 21/304 321 Z ,  H01L 21/66 Y ,  H01L 21/66 Z